完全洁净室方法净化空气
发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:272
洁净室设计和过滤技术的发展，允许我们又回到敞开式加工区域的建设（见图5.12）, 在最先进的设计中，空气过滤包括天花板中的hepa过滤器，并从地板上回收空气，保持持续的洁净空气流。工作台顶部带有贯通穿孔，可使空气无阻碍地流过。
图5.12 洁净室空气层流截面图(国际半导体版权所有)
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hepa filters hepa过滤器
clean room洁净室
equip 洁净室设计和过滤技术的发展，允许我们又回到敞开式加工区域的建设（见图5.12）, 在最先进的设计中，空气过滤包括天花板中的hepa过滤器，并从地板上回收空气，保持持续的洁净空气流。工作台顶部带有贯通穿孔，可使空气无阻碍地流过。
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