晶圆外延
发布时间:2008/6/5 0:00:00 访问次数:571
尽管起始晶圆的质量很高，但对于形成互补金属氧化物半导体（cmos）器件而言还是不够的，这些器件需要一层外延层。许多大晶圆供应商有能力在供货前对晶圆外延。此器件技术在16章中讨论。
尽管起始晶圆的质量很高，但对于形成互补金属氧化物半导体（cmos）器件而言还是不够的，这些器件需要一层外延层。许多大晶圆供应商有能力在供货前对晶圆外延。此器件技术在16章中讨论。
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