安捷伦科技宣布推出agilent 4075和4076 dc/rf/脉冲参数测试仪，用来鉴定使用高级工艺技术(如65nm技术节点)制造的器件。通过agilent 4075和4076，半导体测试工程师可以同时测量rf特点和dc特点，以满足当前体积日益缩小的多样化半导体器件需求，如65nm及更高工艺的超薄栅氧化物晶体管、绝缘体上硅(soi)晶体管和高介电常数(高k)器件。

　　agilent 4075和4076为精确鉴定新的器件结构提供了所需的灵活性，如超薄栅氧化物mosfet，或通信应用中使用的高速半导体器件。这两款测试仪支持10ns短脉冲式iv测量，如高速逻辑应用中使用的soi晶体管和高介电常数晶体管。此外，agilent 4076支持直到1fa的超低电流测量功能。

　　与整个4070系列一样，agilent 4075和4076支持行业标准300mm secs/gem自动化协议，保证制造设备共享一致的界面和行为。

　　现代超薄栅mosfet容易受到电子隧道的影响。为鉴定其电容和电压(cv)行为特点，测量频率必需超过几兆赫。但是，高频cv (hfcv)及实现鉴定必需的射频频率cv (rfcv)测量技术之间相互抵触。agilent 4075和4076同时支持hfcv (4294a)仪器和rfcv (ena/pna)仪器，使得用户能够选择最佳方法，满足自己的工艺技术和生产测试需求。

　　agilent 4075和4076都把高速电容测量单元(cmu)集成到测试头中。这一功能可以在1khz - 2mhz频率范围内，对层间/层内氧化物进行快速电容测量，从而改善吞吐量，降低测试成本。

　　安捷伦的这两款测试仪都支持利用pna进行rf的s参数测试功能，相对于目前市面上使用vna的解决方案，以pna为主的rf解决方案可提供更高的产出速度。此外，agilent 4076还为生产测试提供了实验室测试功能。

　　agilent 4075和4076所有的rf、hfcv和超短脉冲式iv测量功能都可以在整个新设计的直接对接接口上使用。这种直接对接的设计可通过自动化的探针卡更换机制，让使用者轻易地控制和变换探针卡，而且这种rf直接对接的方式也不会减少任何的dc针脚。