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DFM工具有助于实现“光刻友好”布局

发布时间:2008/5/29 0:00:00 访问次数:861

明导国际(mentor graphics)认为,其最新的dfm(可制造性设计,design-for-manufacturing)将对集成电路设计人员设计"光刻友好"的集成电路布局提供帮助。该公司的新型calibre lfd(光刻友好设计,lithography-friendly design)是一种类似于drc/lvs(设计规则检查/低压信令,design-rule-checking/low-voltage-signaling)的工具。不过,calibre lfd并不检查布局是否符合设计规则(例如线迹宽度和间距)与早期原理图,而是检查布局是否符合描述给定生产线剂量和焦点的光刻制造规则。该工具集成了与opcverify一样的引擎,它采用的是一种类似opc(光学接近修正,optical-proximity-correction)的技术,是mentor在1月份为光刻设计人员推出的。

  mentor负责lfd产品的产品开发经理jean-marie brunet表示:"calibre lfd旨在捕捉工艺变化以改善设计的稳定性。我们开发出了calibre lfd套件,它是一种有助于晶圆厂将光
刻信息传递给使用calibre lfd的布局工程师的加密格式。该套件包括制造商定义的配方信息,以及光学处理、抗蚀剂掩模等工艺模型,在某些情况下还包括蚀刻剖面。在将套件安装到calibre lfd中之后,布局工程师将其设计布局输入工具中。然后,利用工具输出一套类似于drc的标记,标记出违反规则的地方,这时,用户必须使用一个独立的布局工具对其修改。该工具可以发现不同于drc工具发现的错误。

  该工具也可产生一个dvi(设计变异指数,design-variability index),这将有助于用户确定变异敏感的拓扑结构。dvi也可以对拓扑结构问题进行归类,有助于用户在调整其布局或甚至改变设计规则时,进行折中考虑。一次布局修正可能对保证时间和生产产生积极的影响,但是也可能出现功率问题。brunet说:"对于要实现优化的布局工程师来说,他们需要有一种比较两种布局的能力,而不需要对光刻问题的专业理解。"因此,该工具可为一个给定的布局或甚至一项ip(知识产权)提供dvi值;而且,dvi值越低,参数变化越不易使设计受到影响。

  未来发布的工具将很可能包括修改布局的特性。在参与工厂的制造工艺开发时,mentor将对具体的工厂和工艺的calibre lfd套件进行维护和更新。该工具的一年期用户的价格为246,000美元。


明导国际(mentor graphics)认为,其最新的dfm(可制造性设计,design-for-manufacturing)将对集成电路设计人员设计"光刻友好"的集成电路布局提供帮助。该公司的新型calibre lfd(光刻友好设计,lithography-friendly design)是一种类似于drc/lvs(设计规则检查/低压信令,design-rule-checking/low-voltage-signaling)的工具。不过,calibre lfd并不检查布局是否符合设计规则(例如线迹宽度和间距)与早期原理图,而是检查布局是否符合描述给定生产线剂量和焦点的光刻制造规则。该工具集成了与opcverify一样的引擎,它采用的是一种类似opc(光学接近修正,optical-proximity-correction)的技术,是mentor在1月份为光刻设计人员推出的。

  mentor负责lfd产品的产品开发经理jean-marie brunet表示:"calibre lfd旨在捕捉工艺变化以改善设计的稳定性。我们开发出了calibre lfd套件,它是一种有助于晶圆厂将光
刻信息传递给使用calibre lfd的布局工程师的加密格式。该套件包括制造商定义的配方信息,以及光学处理、抗蚀剂掩模等工艺模型,在某些情况下还包括蚀刻剖面。在将套件安装到calibre lfd中之后,布局工程师将其设计布局输入工具中。然后,利用工具输出一套类似于drc的标记,标记出违反规则的地方,这时,用户必须使用一个独立的布局工具对其修改。该工具可以发现不同于drc工具发现的错误。

  该工具也可产生一个dvi(设计变异指数,design-variability index),这将有助于用户确定变异敏感的拓扑结构。dvi也可以对拓扑结构问题进行归类,有助于用户在调整其布局或甚至改变设计规则时,进行折中考虑。一次布局修正可能对保证时间和生产产生积极的影响,但是也可能出现功率问题。brunet说:"对于要实现优化的布局工程师来说,他们需要有一种比较两种布局的能力,而不需要对光刻问题的专业理解。"因此,该工具可为一个给定的布局或甚至一项ip(知识产权)提供dvi值;而且,dvi值越低,参数变化越不易使设计受到影响。

  未来发布的工具将很可能包括修改布局的特性。在参与工厂的制造工艺开发时,mentor将对具体的工厂和工艺的calibre lfd套件进行维护和更新。该工具的一年期用户的价格为246,000美元。


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