TCZ发布平面显示器制造用的低温多晶硅结晶设备
发布时间:2008/5/29 0:00:00 访问次数:416
tcz公司面向制造平面显示器(fpd)发布一种创新型生产工具——tcz-900x。该公司是美国cymer公司与德国卡尔·蔡司smt公司组成的一家合资企业。利用cymer公司获得专利的激光技术和卡尔·蔡司smt公司在光学与精密工程方面著名的专门技术，这种先进的tcz-900x制造工具用于帮助低温多晶硅(ltps)显示器厂商提高量产产出效率和降低雷射结晶成本。
显示器领导厂商三星电子公司副总经理c.w.金说，“在这个市场中，成本与品质对显示器厂商来说非常重要。改善显示器性能，并同时提高生产良率的技术将最终推动平板显示器(fpd)业向前发展。”
tcz-900x对于诸如准分子雷射退火(ela)与连续侧向结晶(sls)等现有结晶技术提供一种出色的选择的方案，并提供显示器厂商近期与长期效益的结合，例如：凭借加快直接大规模集成驱动电子直接与低温多晶硅结合，以降低面板成本和提高面板的性能；凭借降低驱动电压、及更小薄膜晶体管(tft)开关来达到高图像分辨率与减少耗电率；分摊设备成本与工艺技术，因为tcz-900x支持主动矩阵液晶显示器(amlcd)，系统集成面板(sop)和下一代有机光发射装置(oled)显示器。该工具能以细长光束(~5微米)一次曝光的扫过整片面板(宽720mm)，有助于提高量产产出能力并具有良好的晶体均匀性。另外，它还实现了较平坦化的平面布局(没有(sls)所引起的垂直凸起物)使闸极氧化层更易量产，进一步降低面板生产成本。
tcz率先实现细光束有方向性结晶工艺设备的商业化，以高的量产产出能力，并提供高载子移动率的低温多晶硅。tdx-900x设备业务将会由分布在韩国、日本、台湾及中国的tcz客户服务架构来支持。
该工具的核心是具有重复率达6khz及900w的高精度光束的光学组件的准分子雷射。这种结合可实现高扫描率，从而该系统在很快的时间内扫过gen4730×900mm玻璃面板。
显示器领导厂商三星电子公司副总经理c.w.金说，“在这个市场中，成本与品质对显示器厂商来说非常重要。改善显示器性能，并同时提高生产良率的技术将最终推动平板显示器(fpd)业向前发展。”
tcz-900x对于诸如准分子雷射退火(ela)与连续侧向结晶(sls)等现有结晶技术提供一种出色的选择的方案，并提供显示器厂商近期与长期效益的结合，例如：凭借加快直接大规模集成驱动电子直接与低温多晶硅结合，以降低面板成本和提高面板的性能；凭借降低驱动电压、及更小薄膜晶体管(tft)开关来达到高图像分辨率与减少耗电率；分摊设备成本与工艺技术，因为tcz-900x支持主动矩阵液晶显示器(amlcd)，系统集成面板(sop)和下一代有机光发射装置(oled)显示器。该工具能以细长光束(~5微米)一次曝光的扫过整片面板(宽720mm)，有助于提高量产产出能力并具有良好的晶体均匀性。另外，它还实现了较平坦化的平面布局(没有(sls)所引起的垂直凸起物)使闸极氧化层更易量产，进一步降低面板生产成本。
tcz率先实现细光束有方向性结晶工艺设备的商业化，以高的量产产出能力，并提供高载子移动率的低温多晶硅。tdx-900x设备业务将会由分布在韩国、日本、台湾及中国的tcz客户服务架构来支持。
该工具的核心是具有重复率达6khz及900w的高精度光束的光学组件的准分子雷射。这种结合可实现高扫描率，从而该系统在很快的时间内扫过gen4730×900mm玻璃面板。
tcz公司面向制造平面显示器(fpd)发布一种创新型生产工具——tcz-900x。该公司是美国cymer公司与德国卡尔·蔡司smt公司组成的一家合资企业。利用cymer公司获得专利的激光技术和卡尔·蔡司smt公司在光学与精密工程方面著名的专门技术，这种先进的tcz-900x制造工具用于帮助低温多晶硅(ltps)显示器厂商提高量产产出效率和降低雷射结晶成本。
显示器领导厂商三星电子公司副总经理c.w.金说，“在这个市场中，成本与品质对显示器厂商来说非常重要。改善显示器性能，并同时提高生产良率的技术将最终推动平板显示器(fpd)业向前发展。”
tcz-900x对于诸如准分子雷射退火(ela)与连续侧向结晶(sls)等现有结晶技术提供一种出色的选择的方案，并提供显示器厂商近期与长期效益的结合，例如：凭借加快直接大规模集成驱动电子直接与低温多晶硅结合，以降低面板成本和提高面板的性能；凭借降低驱动电压、及更小薄膜晶体管(tft)开关来达到高图像分辨率与减少耗电率；分摊设备成本与工艺技术，因为tcz-900x支持主动矩阵液晶显示器(amlcd)，系统集成面板(sop)和下一代有机光发射装置(oled)显示器。该工具能以细长光束(~5微米)一次曝光的扫过整片面板(宽720mm)，有助于提高量产产出能力并具有良好的晶体均匀性。另外，它还实现了较平坦化的平面布局(没有(sls)所引起的垂直凸起物)使闸极氧化层更易量产，进一步降低面板生产成本。
tcz率先实现细光束有方向性结晶工艺设备的商业化，以高的量产产出能力，并提供高载子移动率的低温多晶硅。tdx-900x设备业务将会由分布在韩国、日本、台湾及中国的tcz客户服务架构来支持。
该工具的核心是具有重复率达6khz及900w的高精度光束的光学组件的准分子雷射。这种结合可实现高扫描率，从而该系统在很快的时间内扫过gen4730×900mm玻璃面板。
显示器领导厂商三星电子公司副总经理c.w.金说，“在这个市场中，成本与品质对显示器厂商来说非常重要。改善显示器性能，并同时提高生产良率的技术将最终推动平板显示器(fpd)业向前发展。”
tcz-900x对于诸如准分子雷射退火(ela)与连续侧向结晶(sls)等现有结晶技术提供一种出色的选择的方案，并提供显示器厂商近期与长期效益的结合，例如：凭借加快直接大规模集成驱动电子直接与低温多晶硅结合，以降低面板成本和提高面板的性能；凭借降低驱动电压、及更小薄膜晶体管(tft)开关来达到高图像分辨率与减少耗电率；分摊设备成本与工艺技术，因为tcz-900x支持主动矩阵液晶显示器(amlcd)，系统集成面板(sop)和下一代有机光发射装置(oled)显示器。该工具能以细长光束(~5微米)一次曝光的扫过整片面板(宽720mm)，有助于提高量产产出能力并具有良好的晶体均匀性。另外，它还实现了较平坦化的平面布局(没有(sls)所引起的垂直凸起物)使闸极氧化层更易量产，进一步降低面板生产成本。
tcz率先实现细光束有方向性结晶工艺设备的商业化，以高的量产产出能力，并提供高载子移动率的低温多晶硅。tdx-900x设备业务将会由分布在韩国、日本、台湾及中国的tcz客户服务架构来支持。
该工具的核心是具有重复率达6khz及900w的高精度光束的光学组件的准分子雷射。这种结合可实现高扫描率，从而该系统在很快的时间内扫过gen4730×900mm玻璃面板。
相关技术资料- 7-18STGWA30IH160DF2 IGBT应用前景简述
- 7-18最新一代低功耗内存LPDDR6标JESD209-6
- 7-18EMI CISPR25 CLASS 5标准应用探究
- 7-18Android 和Linux OS优势特征
- 7-18汽车混合信号微控制器MSPM0G351X-Q1
- 7-184A，6A 3KVRMS双通道隔离的闸门驱动器
- 7-17第二代储能电芯加速替代280Ah电芯应用详情
- 7-17业界首款超以太网和 UALink IP 解决方案
- 7-17NVLink 和 NVSwitch 关键技术参数探究
- 7-17“Scale Up + Scale Out” 混合架构应用详解
- 7-17高速速度比（2.5MHz）RRIO操作放大器简述
- 7-174-20MA信号调节器技术参数设计
- 相关IC型号
公网安备44030402000607
