瑞士微型数字传感器生产商sensirion公司推出第三代mems流量传感器，用于对微流体系统的流量进行数字化测量。

　　新型oem传感器通过使用oem组件，原有微流体产品范围得到扩大。组件价格优惠、结构紧凑，适用于诊断、医疗和生物技术领域。最大型号的传感器可测出3亳升/分钟以下(含3亳升/分钟)的流量，而且在微缩造型结构方面该最新技术取得了突破。传感器重量减轻后只有6克。

　　传感器芯片的集成度高，在降低费用、缩小外形和减轻重量方面起到了积极作用。这种传感器可以探测介质，精确测量低至纳升/分钟的流量，同时具备非常高的反复精确度。其动作时间在毫秒范围内，可有效检测并控制微流体系统中的动态变化。测量过程中传感器与介质不发生接触。传感器芯片可以隔着玻璃毛细管壁进行测量(美国专利号6813944)，介质仅与毛细管的内壁接触。