智能功率电路
发布时间:2008/5/28 0:00:00 访问次数:380
智能功率电路是指在一个芯片上把电压的cmos的vlsi cpu、逻辑电路和模拟电路和高压功率器件集成在一起。目前，智能功率电路的集成度还很低，只是几个逻辑电路和高压功率器件集成在一起。soi衬底可以灵活的把双极性器件、高压器件、低压器件、soi器件或其它器件集成在同一个芯片上。图1.28[45]给出了一个改进后的智能功率电路的工艺流程。
图1.28 键合智能功率电路
（1）在低掺杂的n-硅片上局部腐蚀，形成深度~3μm的浅槽，离子注入在浅槽的底部的下面形成n+
智能功率电路是指在一个芯片上把电压的cmos的vlsi cpu、逻辑电路和模拟电路和高压功率器件集成在一起。目前，智能功率电路的集成度还很低，只是几个逻辑电路和高压功率器件集成在一起。soi衬底可以灵活的把双极性器件、高压器件、低压器件、soi器件或其它器件集成在同一个芯片上。图1.28[45]给出了一个改进后的智能功率电路的工艺流程。
图1.28 键合智能功率电路
（1）在低掺杂的n-硅片上局部腐蚀，形成深度~3μm的浅槽，离子注入在浅槽的底部的下面形成n+
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