液压缸Ⅱ工进I工进结束,碰到死挡铁,⒕缸停止运动。⒕缸右腔油压迅速上升,当油压超过顺序阀7的预调压力时,顺序阀7打开,压力油进人B缸下腔,上腔的油液经换向阀3、换向阀10(右位)及节流阀11流回油箱,实现了B缸活塞垂直向上工进。

液压缸Ⅱ快退当撞块9碰到行程开关SQ2时,使电磁铁YA1、YA2都断电,换向阀3复右位,换向阀10复左位。压力油经换向阀3进人B缸上腔,下腔油经单向阀8、换向阀3、换向阀10直接流入油箱,实现了B缸活塞垂直向下快退。

液压传动系统实例用职能符号表示的多缸顺序专用铣床液压系统。两液压缸I、Ⅱ的动作顺序。该系统利用单向顺序阀和电气行程开关配合,完成严格的顺序动作。

1―单向定量油泵 2一溢流阀 3一二位四通电磁换向阀 4、8―单向阀 5、9一撞块 6、7―顺序阀 10―二位三通电磁换向阀 11―节流阀

液压缸I工进当撞块5碰到行程开关SQ1时,换向阀10的电磁铁YA2通电,右位接入系统,使回流油液只能经节流阀11流回油箱,实现了A缸活塞水平向左工进。

在X射线以及等离子方面都有不错的积累。如今跳出EUV框架选择X射线作为光刻机的突破路线确实是一个切实可行的选择。

同时由于更短的波长使得X射线在1nm及更先进的制程中也存在反超EUV光刻机的可能。

如今的EUV光刻机已经形成了一整套完备的产业链，不同企业负责不同分工来完成这台精密的仪器。X射线光刻机确实可以完成理论方面的研究，但是由于缺乏产业链的支持，导致这种类型的光刻机难以实现量产，或者量产成本过高。随之而来的就是商业化应用难以推广，最终导致失败。