为方便输入仿真参数,模型中采用对象Dia10g和方法Mcthod共同建立双臂集束型装备重入加工的人机对话系统。K9F5608UOC-DIBO通过设置Dia1og的Static Tcxt Box、Button Bα和数据类型等设计晶圆加工时间参数及仿真系统运行的控制界面,如图2-13所示。同时,采用方法autocxcc实现系统自动进入人机界面,通过人机交互系统依次实现Dialog对象的变量、属性callback的局部变量、模型层iamc的全局变量,最终将时间参数传递给相应变量,完成系统加工时间的赋值。A1~A3表示为PMl~PM3的加工时间,仞为机械手卸载晶圆所需时间α,,9c为旋转所需时间〃,r为双臂机械手自身旋转动作所需时间⒄-α-'),J为装载晶圆所需时间',s为交换晶圆所需时间兄。通过向Dia1og中输入相应的时间参数就能控制系统的加工状态,实现仿真模型的参数化。