位置:51电子网 » 技术资料 » 新品发布

与设计图形在给定的离焦后的差异

发布时间:2017/11/1 19:25:45 访问次数:345

   由一个给定的仿真模型(如空问像+阈值模型)从-个初始函数(掩膜版的原始设计图样)来对每一个掩膜版单元进行考察,看将其设定成“0”或者“1”对一些预先定义的考察I艺好坏的参量,或者代价函数有没有变化。 OPB867T55如果设定成“0”对降低代价函数有利,那么就算是原先在这个单元上是“1”,或者不透明,经过这一轮逆光刻运算,它会被改成“透明”。经过这样的反复运算,直到最后结果不再明显变化为止。那么,这样的掩膜版函数被认定为优化了的函数。常见的代价函数可以有以下几种:

   (1)与设计图形的差异。

   (2)与设计图形在给定的离焦后的差异。

   (3)与设计图形在曝光能量偏移给定量后的差异。

   (4)与设计图形在掩膜版存在给定误差后的差异。

   相比传统的光学邻近效应修正,这种方法有以下优点:

     

   由一个给定的仿真模型(如空问像+阈值模型)从-个初始函数(掩膜版的原始设计图样)来对每一个掩膜版单元进行考察,看将其设定成“0”或者“1”对一些预先定义的考察I艺好坏的参量,或者代价函数有没有变化。 OPB867T55如果设定成“0”对降低代价函数有利,那么就算是原先在这个单元上是“1”,或者不透明,经过这一轮逆光刻运算,它会被改成“透明”。经过这样的反复运算,直到最后结果不再明显变化为止。那么,这样的掩膜版函数被认定为优化了的函数。常见的代价函数可以有以下几种:

   (1)与设计图形的差异。

   (2)与设计图形在给定的离焦后的差异。

   (3)与设计图形在曝光能量偏移给定量后的差异。

   (4)与设计图形在掩膜版存在给定误差后的差异。

   相比传统的光学邻近效应修正,这种方法有以下优点:

     

热门点击

 

推荐技术资料

自制智能型ICL7135
    表头使ff11CL7135作为ADC,ICL7135是... [详细]
版权所有:51dzw.COM
深圳服务热线:13751165337  13692101218
粤ICP备09112631号-6(miitbeian.gov.cn)
公网安备44030402000607
深圳市碧威特网络技术有限公司
付款方式


 复制成功!