不同环境的典型级别数
发布时间:2016/6/15 21:14:13 访问次数:405
美国联邦标准209E规定空气质量由区域中空气级别数来表示。标准按两种方法设定,CY6116-55DMB一是颗粒大小,二是颗粒密度。区域中空气级别数是指在一立方英尺中所含直径为0.5um或更大的颗粒总数。一般城市的空气中通常包含烟、雾、气。每立方英尺有多达五百万个颗粒,所以是五百万级。随着芯片部件尺寸的更新换代,不断提高的芯片灵敏度要求越来越小的颗粒。联邦标准2⒆E规定最小洁净度可到一级。因为2⒆E以0.5um的颗粒定义洁净度,而成功的晶圆加工工艺要求更严格的控制,所以工程技术人员和工程师们致力于减少10级和1级环境中0,3um颗粒的数量,如表3.6所示。
美国联邦标准209E规定空气质量由区域中空气级别数来表示。标准按两种方法设定,CY6116-55DMB一是颗粒大小,二是颗粒密度。区域中空气级别数是指在一立方英尺中所含直径为0.5um或更大的颗粒总数。一般城市的空气中通常包含烟、雾、气。每立方英尺有多达五百万个颗粒,所以是五百万级。随着芯片部件尺寸的更新换代,不断提高的芯片灵敏度要求越来越小的颗粒。联邦标准2⒆E规定最小洁净度可到一级。因为2⒆E以0.5um的颗粒定义洁净度,而成功的晶圆加工工艺要求更严格的控制,所以工程技术人员和工程师们致力于减少10级和1级环境中0,3um颗粒的数量,如表3.6所示。
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